等离子刻蚀设备
 
    等离子体刻蚀（也称干法刻蚀）是PCB及FPC制造中的关键工艺之一，等离子刻蚀机主要应用于PCB及FPC去除生产过程在表面及孔内残留的一些有机物及胶渣。等离子刻蚀过程中，活性反应离子和被刻蚀的物质表面产生化学反应并形成挥发性的反应生成物，反应生成物脱离被刻蚀物质表面，并被真空系统抽出真空腔体。